R&D
불량 전극 Repair
P-OLED TFT 패널의전극 Short 불량 리페어 기술
수백나노급 가공 정밀도 공정 기술개발
Repair 시 하부 레이어의 대미지 최소화를 위한 패터닝 공정 개발
전극 직접 인쇄 기술
전극 인쇄 및 레이저 어닐링공법을 이용한 프린팅 시스템 개발
프린팅 레이저 절삭/전극 인쇄/레이저 어닐링 융합 공정 개발
전극 인쇄 공법을 이용한 선폭 & 높이 1~5㎛급 전극 리페어 공정 개발
3차원 이미징 검사 기술
비접촉식 Inline 3D 나노 영상이미징 검사 시스템 개발
나노스케일 급 초정밀 측정을 위한 고해상도 3차원 표면형상 측정기술 개발
Repair에 적용 가능한 3차원 표면형상 측정 모듈 개발
